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上海真空泵厂家生产的干式螺杆真空泵的特征和应用

日期:2018-08-27 10:46:44 发布人:真空泵_昆山开曼真空系统

上海真空泵厂家生产的干式螺杆真空泵,是利用一对螺杆,在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备。

1 真空泵特征

(1)可靠性高。螺杆式干式真空泵零部件少,没有易损件,因此它运转可靠,寿命长。

(2)操作维护方便。

(3)动力平衡性好。螺杆式干式真空泵没有不平衡的惯性力,机器可平稳地高速运行。

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(4)适应性强。螺杆式干式真空泵具有强制输气的特点,在宽广的压力范围内能保持较高的抽速,排气量几乎不受排气压力的影响。

(5)多相混输。由于螺杆式干式真空泵转子齿面间留有微小间隙,因而可抽除腐蚀性、有毒、含有粉尘、可凝性蒸汽等多种气体。

2 上海真空泵厂家的螺杆式干式真空泵的应用

螺杆式干式真空泵广泛应用于电子、核能、化工、医药、食品工业等领域。在半导体工业中用于生产芯片、制造液晶显示器、蚀刻、生产PLASMA的CVD制程。在核工业中用于核反应堆及核工业真空获得;化工上用于真空蒸馏及溶剂萃取高效回收溶剂,在脂肪酸生产中用来消除水污染,清除喷射器中的阻塞物;医药工业中用于回收药液及药物中间体,为人造器官生产提供清洁无菌条件,回收气体消毒剂;食品工业中用于香料、香精浓缩,食品包装等。应用范围极为广泛。具体如下:

干燥处理,减压蒸馏,分子蒸馏,溶剂回收,油气回收,工厂通用真空,电子,真空镀膜,航空,核工业可提取普通空气,易燃易爆气体,腐蚀性气体,特别适合清洁真空环境的要求。具体应用:真空镀膜,减压蒸馏,真空干燥,拉单晶,特殊气体制造,离子蚀刻等

氨纶,芳纶纤维,纤维,冶金等纺织和冶金行业使用干式真空泵,具体应用:真空消泡,VOD真空吹氧脱碳等。

其中一个代表半导体工业,它要求真空泵在泵送空间中返回到零以保护工件免受污染。应用于半导体工业的真空系统的要求可分为三个等级。在清洁条件下,仅泵送干燥空气或含有少量水蒸气的空气;在中等条件下,反应气体被泵出而没有固体颗粒;在不利条件下,泵出化学反应物(有毒甚至致癌)和固体颗粒。

另一个是石油化学工业,需要大量真空泵来除去可冷凝气体,腐蚀性气体,有毒气体或含有灰尘的气体。螺杆干式真空泵广泛应用于电子,核电,化工,医药,食品工业等领域。在半导体工业中用于生产芯片,LCD制造,蚀刻,生产PLASMA CVD工艺。它被用于核工业的核反应堆和核工业的真空采集;在化学工业中用于真空蒸馏和溶剂萃取以有效回收溶剂;在脂肪酸生产中,以消除水污染和消除喷射器中的堵塞;在制药工业中用于回收药物液体和医药中间体,为人造器官的生产提供清洁和无菌条件。回收气体消毒剂;食品工业用于香料,浓缩香精,食品包装等

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